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        滑閥真空泵的特點

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        點擊次數:29 更新時間:2019年04月15日10:07:51 打印此頁 關閉

            滑閥式真空泵其實就是油封機械真空泵的一種,這個是屬于變容式的氣體傳輸泵的,而且是可以單獨使用獲得真空的,而且也是可以作為羅茨真空泵、油增壓泵和油擴散泵的一種前級泵的。


            目前,滑閥泵有三種結構形式:(a)滑閥桿鉸接在滑閥環上;(b)滑閥桿與滑閥環做成一體;(c)行星式滑閥泵,行星式滑閥泵與體積和轉速相同的其他形式的滑閥泵相比,由于滑閥體尺寸較小,抽速較大。但由于滑閥桿擺動的幅度很大,這種結構只適用于小型泵。在實際產品中,均采用以滑閥桿與滑閥環做成一體的結構。


            滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大很多,因此常常被用在大型真空設備上?;y泵是旋轉式油泵中抽氣量最高的泵。這種泵適用于從容積大的真空密封容器內迅速抽除空氣和不與黑色金屬及真空油起反應的非凝結性氣體;但不適用于抽除含氧量過高、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、對真空泵油起化學反應的以及含有顆粒粉塵的氣體。


            滑閥泵有單級和雙級兩種形式,單級泵的極限壓力在0.6~1.3Pa(關氣鎮),雙級泵的極限壓力在0.06Pa。所謂雙級,就是在結構上將兩個單級泵串聯起來,與單級滑閥泵相比,它具有可以獲得較高的真空度,同時滑閥泵容量大,在與羅茨泵配置成機組后,可以使用在較低極限壓力又要求有一定抽速的場合等優點,因此雙級滑閥泵常使用在大型真空設備系統中,滿足需要穩定較大抽速和較高真空度的需求,這是單級滑閥泵很難達到的,雙級滑閥泵在這一領域具有很強的競爭力。隨著新能源研究、半導體行業、平板玻璃鍍膜設備以及航天所需的真空模擬設備、低壓風洞裝置等真空應用的廣泛發展需要,對雙級滑閥泵的需求增加十分明顯。


            近年來隨著我國真空應用技術領域的擴大和我國國際交流的不斷擴大,各種真空獲得設備的發展非常迅速,國產真空泵已經在不同領域得到廣泛應用,不少泵還出口到國外,得到國外用戶的認可,有的還受到好評。目前全球真空泵市場銷售額據不完全統計約20億美元左右,且每年還以7%的速度在增長。全國生產滑閥泵的企業有幾十家,年產量約為5000臺,主要集中在浙江、廣東、沈陽等地。

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